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一是加快研制新型傳感器。分析儀器是我國科技、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)持續(xù)發(fā)展的基礎(chǔ),工業(yè)過程控制、設(shè)施農(nóng)業(yè)、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境控制、食品安全乃至航空航天、國防工程等領(lǐng)域迫切需要各類新型傳感器作為信息攝取源的小型化、專用化、簡用化、家庭化的新一代分析儀器,實(shí)現(xiàn)更靈敏、更準(zhǔn)確、更快速、更可靠的實(shí)時(shí)檢測,以迅速改變我國分析儀器的落后狀況。
二是加快技術(shù)發(fā)展,推動(dòng)傳感器技術(shù)進(jìn)步。幾十年來,微電子技術(shù)的進(jìn)步促進(jìn)了傳感器技術(shù)的發(fā)展。未來10-20年傳統(tǒng)硅技術(shù)將進(jìn)入成熟期,屆時(shí),直徑300mm硅晶片將大量用于生產(chǎn),使得硅的低成本制造技術(shù)和硅的應(yīng)用技術(shù)得到空前發(fā)展,將為研制生產(chǎn)微型傳感器、智能傳感器等新型傳感器提供技術(shù)保障。從總體發(fā)展看,傳統(tǒng)硅技術(shù)將一直延續(xù)到2047年才趨于飽和。而當(dāng)前微電子技術(shù)仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎(chǔ)規(guī)律走下去,在盡力逼近傳統(tǒng)硅技術(shù)極限中,不斷擴(kuò)展硅的跨學(xué)科橫向應(yīng)用和突破“非穩(wěn)態(tài)物理器件”。上述微電子技術(shù)發(fā)展中的兩大方向正是當(dāng)前乃至未來20年傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向。
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